Recuperación de fluido de corte de polisilicio

En los últimos años, la industria de las obleas se ha desarrollado rápidamente, pero al mismo tiempo, también produce una gran cantidad de aguas residuales. Las aguas residuales de producción provienen principalmente del proceso de limpieza del proceso de corte de lingotes de polisilicio. Las aguas residuales que contienen ácido se producen en el proceso de limpieza después del tratamiento superficial del lingote de silicio policristalino con el ácido mixto. Dado que el tratamiento de la superficie es un ácido mixto de ácido fluorhídrico de ácido nítrico, la principal contaminación en las aguas residuales de lavado es el pH, el fluoruro y el nitrato. Las aguas residuales orgánicas se producen en el proceso de limpieza de la oblea de silicio policristalino cortada. Dado que el fluido de corte (el componente principal es polietilenglicol) y el micropolvo cortado (el componente principal es carburo de silicio) se utilizan para cortar, el principal contaminante en las aguas residuales de limpieza es CODCr y SS.

El fluido de corte de polisilicio se compone de polietilenglicol como cuerpo principal y se agrega con varios aditivos. Tiene un índice de viscosidad adecuado, buena fluidez y conductividad térmica, y tiene una buena estabilidad de dispersión y efecto de suspensión en el micropolvo de carburo de silicio. Se genera una gran cantidad de líquido residual después del corte, y el líquido residual contiene una cantidad considerable de polvo de silicio policristalino, que tiene un cierto valor de recuperación. El polvo de polisilicio se recupera mediante la tecnología de separación de membrana cerámica, convirtiéndose en la llamada recuperación de fluido de corte. Y el sitio es limpio y sanitario, lo que está en línea con la orientación nacional de la industria de ahorro de energía y reducción de emisiones.

La tecnología de equipos de membrana cerámica es avanzada y madura, con bajos costos operativos y rápido retorno de la inversión.

Filtración con membranas cerámicas El proceso puede tratar directamente con el líquido residual que contiene silicio producido en el proceso de producción de energía solar, recolectar silicio, reutilizar agua pura y refrigerante.

El proceso puede separar el polvo de silicio y el agua pura, recuperar más del 98% del polvo de silicio, reutilizar más del 90% de agua pura, reutilizar aproximadamente el 50% del refrigerante y el agente de conformación, lo que puede reducir en gran medida la carga de la estación de aguas residuales.

El proceso tiene las ventajas de un proceso corto, operación simple, período de amortización corto, y se ha convertido en el proceso estándar preferido para las empresas de evaluación comparativa en la industria de chips de silicio.